发明名称 |
一种基于光束波前调制的同轴检焦装置 |
摘要 |
本发明公布了一种基于光束波前调制的同轴检焦装置。该装置包括检焦光源、聚焦透镜、针孔滤波器、光束准直透镜、分光棱镜、反射镜、投影物镜和成像CCD。检焦光束经过扩束准直后,分为两束,其中参考光经过反射镜折回到达CCD表面;测量光穿过投影物镜经硅片反射到达CCD靶面。当硅片处于离焦位置时,参考光和测量光干涉形成与的干涉条纹。通过对条纹进行解析相位可以得到硅片的离焦量。本发明具有高精度、和实时测量,并可以直接根据条纹形态判断硅片是否离焦的优点。 |
申请公布号 |
CN103913961A |
申请公布日期 |
2014.07.09 |
申请号 |
CN201410155018.9 |
申请日期 |
2014.04.17 |
申请人 |
中国科学院光电技术研究所 |
发明人 |
邸成良;严伟;胡松;李光 |
分类号 |
G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F9/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 |
代理人 |
成金玉;孟卜娟 |
主权项 |
一种基于光束波前调制的同轴检焦装置,其特征在于:所述检焦装置包括检焦光源(101)、聚焦透镜(102)、针孔滤波器(103)、光束准直透镜(104)、分光棱镜(105)、反射镜(106)、投影物镜(107)和成像CCD(109);检焦光源(101)采用632.8nm的HE‑NE激光器,经过聚焦透镜(102)将检焦光束汇聚到其焦点位置,而后聚焦透镜(102)焦面位置采用直径为5μm针孔滤波器(103)对光束进行滤波,光束以点光源发光形式被光束准直透镜(104)调制为平面波,该平面波被分光棱镜(105)分为两束,即参考光束(201)和测量光束(202),其中参考光束(201)穿过分光棱镜(105)被倾斜的反射镜(106)反射以平面波的形式到达成像CCD(109)靶面,反射镜(106)的镜面与xoz面垂直,与z轴夹角θ=0.01-0.02rad;而测量光束(202)则被分光棱镜(105)反射后穿过投影物镜(107)到达硅片(108)表面,再被硅片(108)反射透过投影物镜(107)直达成像CCD(109)靶面;当硅片处于离焦位置(108’)时,被硅片(108)反射的测量光束(202)被调制为发散或汇聚的球面波,最终在成像CCD(109)表面,参考光束(201)和测量光束(202)发生干涉形成包含离焦量α信息的干涉条纹,通过对干涉条纹进行相位解析得到硅片(108)在z轴方向的离焦量。 |
地址 |
610209 四川省成都市双流350信箱 |