一种新型便携式质谱真空系统

摘要

本实用新型公开了一种新型便携式质谱真空系统，包括：质谱仪的真空腔体、真空保持泵组以及预抽装置，所述真空保持泵组和预抽装置分别与真空腔体连通；所述真空腔体与预抽装置之间还连接有真空阀一。所述预抽装置包括高真空泵，所述高真空泵的入口连接有前级真空泵，所述高真空泵的出口通过管路与所述真空阀一可拆卸连接。本实用新型通过预抽设备和真空保持泵组的组合使用，抽真空后即可将预抽设备拆掉，只需连接真空保持泵组，即可保持质谱仪真空腔体的真空度，保证质谱仪的正常使用；这种新型便携式真空系统体积小、重量轻、功耗低、抗震性强、真空保持能力也比较强，便于携带，使用场所不受限制。

主权项

一种新型便携式质谱真空系统，其特征在于，包括：质谱仪的真空腔体、真空保持泵组以及预抽装置，所述真空保持泵组和预抽装置分别与真空腔体连通；所述真空腔体与预抽装置之间还连接有真空阀一，所述预抽装置与真空阀一可拆卸连接。