一种基片的固定夹具

摘要

针对磁控溅射过程中基片的固定问题，本实用新型提供一种基片的固定夹具，包括立柱、水平台、螺丝、基座，其中，两个立柱之间安装有水平台，立柱和水平台通过螺丝相连接；基座与螺丝相连接，螺丝安装在水平台上；基座位于两个立柱之间。将基片放于基座上，调节螺丝，使得基片的水平面与两个立柱的水平面在一个平面上，通过两个立柱夹紧基片。本实用新型的夹具对薄膜沉积过程没有遮挡作用，保证薄膜沉积的均匀性，提高薄膜整体的质量。

主权项

一种基片的固定夹具，包括立柱、水平台、螺丝、基座，其特征在于： 所述的立柱由两个，且两个立柱之间安装有水平台，立柱和水平台通过螺丝相连接； 所述的基座与螺丝相连接，螺丝安装在水平台上； 所述的基座位于两个立柱之间。