静电保护元件及其制造方法

摘要

本发明的目的在于提供一种静电保护元件及其制造方法，以低成本形成能够耐受500次以上的ESD试验（接触放电试验）并将ESD抑制峰值电压维持在500V以下的表面电极。所述静电保护元件（100）包括：表面电极（2a、2b），形成在陶瓷基板（1）上，并隔着间隙（4a）对置；玻璃膜（21a、21b），形成在表面电极上，并覆盖表面电极的上表面（2a-3、2b-3）及两侧面（2a-4、2b-4），且隔着与间隙（4a）相连的间隙（4b）对置；以及静电保护膜（5），具有部（5c）和两侧部（5a、5b），部（5c）设置于间隙（4a、4b），两侧部重叠于玻璃膜的上表面（21a-2、21b-2），其中，表面电极的材料为铜-镍膜或铜-镍-银膜。

主权项

一种静电保护元件，包括：表面电极，形成于绝缘基板的表面，并隔着第一间隙对置；绝缘膜，形成在所述表面电极上并覆盖所述表面电极的上表面和两侧面，且隔着与所述第一间隙相连的第二间隙对置；以及静电保护膜，具有中央部和两侧部，所述中央部设置于所述第一间隙和第二间隙，所述两侧部重叠于所述绝缘膜的上表面，所述静电保护元件的特征在于，所述表面电极的材料为铜‑镍膜或铜‑镍‑银膜。