一种隧道式MEMS陀螺仪

摘要

本发明公开了一种隧道式MEMS陀螺仪，属于微机电系统技术领域。本发明提供的隧道式MEMS陀螺仪包括一块正16边形的薄板作为敏感质量键合在玻璃衬底上，正16边型的每一条边对应1个电极，16个电极分为4组，分别作为驱动电极、调节电极、反馈电极和用于产生隧穿电流的楔形锥尖，所述锥尖电极设置在可动梳上；本发明提出了一种全新的结构，采用对称多边形质量块，反馈电极和调节电极有利于实现驱动模态频率和检测模态频率的匹配，实现较高灵敏度；同时，采用可动梳控制锥尖和质量块间的间距，采用两个横向的锥尖检测差分隧道电流，有利于降低漂移，进一步提高了检测灵敏度。

主权项

一种隧道式MEMS陀螺仪，其特征在于：包括一块作为敏感质量的薄板，所述薄板为正16边形，正16边形的每一条边对应1个电极，敏感质量和16个电极都键合在玻璃衬底上。