发明名称 |
多层喷气式金刚石膜涂层设备 |
摘要 |
本实用新型涉及一种多层喷气式金刚石膜涂层设备,包括涂层室、工件架、抽真空装置,其特征在于所述涂层室内设置有多层喷气装置,所述多层喷气装置包括进气管、气体储存室、温度控制器、电磁阀、加压泵、喷气管道、喷气头以及喷气细管。本实用新型可实现涂层室内各个位置的均匀喷气,保证工件涂层质量一致,同时还具有调节温度、可自动化操控的优点。 |
申请公布号 |
CN203700517U |
申请公布日期 |
2014.07.09 |
申请号 |
CN201420081730.4 |
申请日期 |
2014.02.26 |
申请人 |
湖南中航超强金刚石膜高科技有限公司 |
发明人 |
姚成泽;陈远达 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
多层喷气式金刚石膜涂层设备,包括涂层室、工件架、抽真空装置,其特征在于:所述涂层室内设置有多层喷气装置,所述多层喷气装置包括进气管、气体储存室、温度控制器、电磁阀、加压泵、喷气管道、喷气头以及喷气细管,所述气体储存室的下部设有温度控制器,所述温度控制器的输入端与气体储存室相连,输出端通过安装在管路上的加压泵与喷气管道连接,喷气管道上设有多个带电磁阀和喷气头的喷气支路,所述喷气头连通有多个喷气细管。 |
地址 |
415200 湖南省常德市临澧县安福工业园 |