发明名称 |
一种光罩支架调平机构 |
摘要 |
本实用新型公开了一种光罩支架调平机构,包括四边形基座和光罩支架,四边形基座的四角上设有通孔,每个通孔上方设有支撑框,支撑框由上盖和支撑上盖的侧壁组成,支撑框的上盖底部呈凸球面形,所述光罩支架四角均向上安装有连杆,每个连杆穿过四边形基座上相应的通孔而将端部伸入支撑框内,每个连杆端部呈凹球面形并与所述上盖底部的凸球面形相贴合,在上盖上设有螺钉通孔,在连杆端部均设有螺孔,自上盖经螺钉通孔向连杆端部的螺孔内穿有螺钉,所述螺钉通孔的直径大于所述螺钉的直径。该机构能够对光罩支架进行悬浮调平,调平时光罩支架不滑动,调平后容易固定,整个操作过程轻松快捷。 |
申请公布号 |
CN203705821U |
申请公布日期 |
2014.07.09 |
申请号 |
CN201420046395.4 |
申请日期 |
2014.01.25 |
申请人 |
保定来福光电科技有限公司 |
发明人 |
张惠光 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 |
代理人 |
汤东凤 |
主权项 |
一种光罩支架调平机构,包括四边形基座和光罩支架,其特征在于,四边形基座的四角上设有通孔,每个通孔上方设有支撑框,支撑框由上盖和支撑上盖的侧壁组成,支撑框的上盖底部呈凸球面形,所述光罩支架四角均向上安装有连杆,每个连杆穿过四边形基座上相应的通孔而将端部伸入支撑框内,每个连杆端部呈凹球面形并与所述上盖底部的凸球面形相贴合,在上盖上设有螺钉通孔,在连杆端部均设有螺孔,自上盖经螺钉通孔向连杆端部的螺孔内穿有螺钉,所述螺钉通孔的直径大于所述螺钉的直径。 |
地址 |
071700 河北省保定市容城县容城城东开发区容津路3号 |