| 发明名称 | 超高纯一氟甲烷的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种吸附法制备超高纯一氟甲烷的方法，采用A型分子筛和/或粒径为1.5～3.0mm的活性炭脱除一氟甲烷粗品中的杂质，所述A型分子筛和活性炭在使用前经活化处理。本发明提供的制备方法，可获得99.999%甚至99.9999%以上的高纯一氟甲烷，制备的超高纯一氟甲烷可用作半导体/电子工业的刻蚀气体。 | ||
| 申请公布号 | CN103910600A | 申请公布日期 | 2014.07.09 |
| 申请号 | CN201310004972.3 | 申请日期 | 2013.01.06 |
| 申请人 | 中化蓝天集团有限公司;浙江蓝天环保高科技股份有限公司 | 发明人 | 李盛姬;柳彩波;刘武灿 |
| 分类号 | C07C19/08(2006.01)I;C07C17/389(2006.01)I | 主分类号 | C07C19/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人 | 刘晓春 |
| 主权项 | 一种超高纯一氟甲烷的制备方法，其特征在于采用A型分子筛和/或粒径为1.5～3.0mm的活性炭脱除一氟甲烷粗品中的杂质，所述A型分子筛和活性炭在使用前经活化处理，活化温度为120～300℃，活化时间为2～3小时。 | ||
| 地址 | 310051 浙江省杭州市滨江区江南大道96号 | ||