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摘要 Methods of and hybrid factories for thin-film battery manufacturing are described. A method includes operations for fabricating a thin-film battery. A hybrid factory includes one or more tool sets for fabricating a thin-film battery.
申请公布号 JP2014516202(A) 申请公布日期 2014.07.07
申请号 JP20140514531 申请日期 2012.06.04
申请人 发明人
分类号 H01M10/0585;H01M4/13 主分类号 H01M10/0585
代理机构 代理人
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