| 摘要 |
La présente invention se rapporte à un dispositif micro-électromécanique utilisé comme capteur de force, comprenant une masse mobile, reliée par des ressorts ou éléments déformables à une ou plusieurs zones d'ancrages, et des moyens de détection du déplacement de la masse mobile, la masse mobile présentant un cadre extérieur et un corps intérieur, le cadre extérieur et le corps intérieur étant reliés par au moins deux portions flexibles formant ressorts de découplage solidaires de deux côtés distincts du cadre extérieur. |
