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<p>L'invention concerne un réacteur qui comporte une enceinte ENC munie d'un moyen de pompage PV, un porte-substrat PS et un moyen de chauffage par rayonnement IR, le porte-substrat PS présentant une ouverture OUV en regard du moyen de chauffage IR de sorte qu'il ne soit pas en contact avec la face arrière d'un substrat SUB si ce n'est à la périphérie de ce substrat. Le réacteur est remarquable en ce que le moyen de chauffage IR est agencé dans l'enceinte ENC en regard de l'ouverture OUV.</p> |
