| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Verhindern eines Leiterbahnbreitendefekts und ein Verfahren zum Verhindern eines Leiterbahnbreitendefekts und kann verhindern, dass ein Leiterbahnbreitendefekt auftritt, dabei handelt es sich um eine Reduzierung der Leiterbahnbreite durch übermäßiges Ätzen auf einem speziellen Abschnitt durch Einschließen eines Speichermittels zum Speichern von Dammentwurfsinformationen, die gemäß dem Typ des geschwächten Abschnitts klassifiziert sind; ein Analysemittel zum Analysieren erster Entwurfsinformationen, um den Typ und die Position des schwachen Abschnitts abzuleiten; ein Abgleichmittel zum Extrahieren der Dammentwurfsinformationen entsprechend dem Typ des geschwächten Abschnitts aus den Dammentwurfsinformationen, die in dem Speichermittel gespeichert sind; und ein Veränderungsmittel zum Verändern der ersten Entwurfsinformationen, um einen Damm gemäß den durch das Abgleichmittel extrahierten Dammentwurfsinformationen zu der Position des geschwächten Abschnitts hinzuzufügen, die durch das Analysemittel abgeleitet worden ist. |
