发明名称 |
晶圆级封装结构以及封装方法 |
摘要 |
一种晶圆级封装结构以及封装方法,其中晶圆级封装结构包括:待封装晶圆,所述待封装晶圆包括若干芯片区域;位于所述待封装晶圆芯片区域表面的焊垫和感光元件;覆盖于所述焊垫表面的第一围堤结构;与所述待封装晶圆表面相对设置的封装盖,且第一围堤结构顶部表面与封装盖表面相接触;位于所述封装盖表面的第二围堤结构,封装盖与待封装晶圆通过所述第二围堤结构固定接合,所述第二围堤结构位于第一围堤结构和感光元件之间,且所述第二围堤结构位于感光元件的两侧。本发明在封装工艺的最后,使封装盖和待封装晶圆之间分离,且未伤及晶粒,使得封装工艺后形成的芯片性能更优越。 |
申请公布号 |
CN103904093A |
申请公布日期 |
2014.07.02 |
申请号 |
CN201410129134.3 |
申请日期 |
2014.04.01 |
申请人 |
苏州晶方半导体科技股份有限公司 |
发明人 |
王之奇;喻琼;王蔚 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华;应战 |
主权项 |
一种晶圆级封装结构,其特征在于,包括:待封装晶圆,所述待封装晶圆包括若干芯片区域;位于所述待封装晶圆芯片区域表面的焊垫和感光元件;覆盖于所述焊垫表面的第一围堤结构;与所述待封装晶圆表面相对设置的封装盖,且第一围堤结构顶部表面与封装盖表面相接触;位于所述封装盖表面的第二围堤结构,封装盖与待封装晶圆通过所述第二围堤结构固定接合,所述第二围堤结构位于第一围堤结构和感光元件之间,且所述第二围堤结构位于感光元件的两侧。 |
地址 |
215021 江苏省苏州市苏州工业园区汀兰巷29号 |