发明名称 晶圆级封装结构以及封装方法
摘要 一种晶圆级封装结构以及封装方法,其中晶圆级封装结构包括:待封装晶圆,所述待封装晶圆包括若干芯片区域;位于所述待封装晶圆芯片区域表面的焊垫和感光元件;覆盖于所述焊垫表面的第一围堤结构;与所述待封装晶圆表面相对设置的封装盖,且第一围堤结构顶部表面与封装盖表面相接触;位于所述封装盖表面的第二围堤结构,封装盖与待封装晶圆通过所述第二围堤结构固定接合,所述第二围堤结构位于第一围堤结构和感光元件之间,且所述第二围堤结构位于感光元件的两侧。本发明在封装工艺的最后,使封装盖和待封装晶圆之间分离,且未伤及晶粒,使得封装工艺后形成的芯片性能更优越。
申请公布号 CN103904093A 申请公布日期 2014.07.02
申请号 CN201410129134.3 申请日期 2014.04.01
申请人 苏州晶方半导体科技股份有限公司 发明人 王之奇;喻琼;王蔚
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 骆苏华;应战
主权项 一种晶圆级封装结构,其特征在于,包括:待封装晶圆,所述待封装晶圆包括若干芯片区域;位于所述待封装晶圆芯片区域表面的焊垫和感光元件;覆盖于所述焊垫表面的第一围堤结构;与所述待封装晶圆表面相对设置的封装盖,且第一围堤结构顶部表面与封装盖表面相接触;位于所述封装盖表面的第二围堤结构,封装盖与待封装晶圆通过所述第二围堤结构固定接合,所述第二围堤结构位于第一围堤结构和感光元件之间,且所述第二围堤结构位于感光元件的两侧。
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