发明名称 新型多层热沉材料及其制备方法
摘要 本发明揭示了一种新型多层热沉材料及其制备方法,该新型多层热沉材料包括至少3层高导热层、至少2层低膨胀系数层,形成高导热层与低膨胀系数层交替叠加的结构;该新型多层热沉材料的制备方法包括四个步骤:第一步,制备三层坯料;第二步,坯料表面清洗;第三步,坯料叠加热压复合;第四步,复合后坯料冷轧。本发明的多层热沉材料的导热性能可提高10%-40%,同时热膨胀系数维持与芯片相匹配,并且制备工艺简单,成本低,适合大批量生产。
申请公布号 CN103895286A 申请公布日期 2014.07.02
申请号 CN201410114961.5 申请日期 2014.03.25
申请人 长沙升华微电子材料有限公司 发明人 吴化波;周俊;姜国圣;周敏
分类号 B32B15/04(2006.01)I;B32B37/06(2006.01)I;H01L23/36(2006.01)I 主分类号 B32B15/04(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 李迪
主权项 一种新型多层热沉材料,其特征在于,所述新型多层热沉材料包括至少3层高导热层、至少2层低膨胀系数层,形成高导热层与低膨胀系数层交替叠加的结构。
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