基于双入射光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器

摘要

基于双入射光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器a、激光器b、扩束准直镜a、扩束准直镜b、光纤耦合透镜a、光纤耦合透镜b、导管、显微物镜、CCD相机、计算机和由入射光纤a、入射光纤b、耦合器、出射光纤组成的探针，入射光纤a与入射光纤b用胶进行侧向粘连，耦合器作为探针的触点，激光器a和激光器b发出的两束激光为非相干光，光束经入射光纤a、入射光纤b导入耦合器后由出射光纤导出，导出光束经显微物镜进入CCD相机，通过图像处理技术可以得到出射光束在CCD相机上形成的光斑能量中心位置，即可判断出传感器在空间的瞄准情况；本传感器方向性好、抗干扰能力强、分辨力高。

主权项

一种基于双入射光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器，所述传感器包括激光器a(1)、扩束准直镜a(3)、光纤耦合透镜a(5)、导管(7)、探针(13)、显微物镜(14)、CCD相机(15)和计算机(16)，数据线将CCD相机(15)与计算机(16)连通，探针(13)置于待测微孔(8)内，所述探针(13)包括入射光纤a(9)、耦合器(10)和出射光纤(12)，耦合器(10)作为探针(13)的触点分别与入射光纤a(9)和出射光纤(12)连接，激光器a(1)发出的光束经扩束准直镜a(3)和光纤耦合透镜a(5)后进入入射光纤a(9)，光束经入射光纤a(9)导入耦合器(10)后由出射光纤(12)导出，导出光束经显微物镜(14)进入CCD相机(15)；其特征在于：所述传感器还包括激光器b(2)、扩束准直镜b(4)、光纤耦合透镜b(6)，所述探针(13)还包括入射光纤b(11)，所述入射光纤b(11)与入射光纤a(9)侧向粘连，且所述入射光纤b(11)与耦合器(10)连接，所述激光器b(2)和激光器a(1)发出的两束激光为非相干光，激光器b(2)发出的光束经扩束准直镜b(4)和光纤耦合透镜b(6)后进入入射光纤b(11)，光束经入射光纤b(11)导入耦合器(10)后由出射光纤(12)导出，导出光束经显微物镜(14)进入CCD相机(15)。