发明名称 |
一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置和方法 |
摘要 |
本发明涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置,包括:将柔性的衬底平铺输送的输送机构,进行沉积反应的沉积箱,与沉积箱相接的溶液加热循环机构,洗刷衬底的滚筒洗刷机构,烘干衬底的烘干装置;所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。本发明还涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的方法,包括衬底展开、溶液配置、溶液加热、反应沉积、衬底的输、衬底的清洗、洁净的衬底的输送、表面烘干、衬底收起步骤。本发明具有结构简单、可连续化、批量化生产的优点,属于薄膜太阳能电池制造工艺技术领域。 |
申请公布号 |
CN103898479A |
申请公布日期 |
2014.07.02 |
申请号 |
CN201410100743.6 |
申请日期 |
2014.03.18 |
申请人 |
华南理工大学 |
发明人 |
汤勇;黄云翔;杨晓军;曾海峰;钟福回;孙超卫 |
分类号 |
C23C16/54(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/54(2006.01)I |
代理机构 |
广州市华学知识产权代理有限公司 44245 |
代理人 |
付茵茵;杨晓松 |
主权项 |
一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置,其特征在于:包括:‑将柔性的衬底平铺输送的输送机构,‑进行沉积反应的沉积箱,‑与沉积箱相接的溶液加热循环机构,‑洗刷衬底的滚筒洗刷机构,‑烘干衬底的烘干装置;所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。 |
地址 |
510640 广东省广州市天河区五山路381号 |