表面检查装置

摘要

能检测有无深的机械加工痕迹，另外能估计其位置、大小，因此能缩短检查时间。在根据对气缸体(5)进行镗孔加工而形成、并抛光的气缸筒(3)的内侧表面(3A)的数字亮度图像(70)来检查该内侧表面(3A)的表面检查装置(9)中，具备：评价用图像生成部(55)，其根据所述数字亮度图像(70)，沿着所述切削加工痕迹P的方向生成与所述切削加工痕迹P的方向正交的方向的一维功率谱图像(71)，并将它们并列排列来生成评价用图像(73)；和评价部(57)，其根据所述评价用图像(73)的各像素的像素值，来评价所述气缸筒(3)的内侧表面(3A)的抛光残渣Q的有无。

主权项

一种表面检查装置，根据实施了机械加工的工件的表面的数字图像来检查该表面，其特征在于，具备：评价用图像生成单元，其根据所述数字图像，沿着所述机械加工的方向生成且并列排列与所述机械加工的方向正交的方向的一维功率谱图像，来生成评价用图像；和评价单元，其根据所述评价用图像的各像素的像素值来评价所述表面，在该一维功率谱图像中，与机械加工痕迹的间距对应的所在的像素值成为与在机械加工痕迹处的反射光的明暗的差相应的值。