微透镜阵列以及使用该微透镜阵列的扫描曝光装置

摘要

在微透镜阵列中，其反转成像位置的六边视野光圈的配置，即，微透镜的配置，在垂直于扫描方向的方向上配置有多个而构成微透镜列。而且关于其3列的微透镜列，微透镜列以使六边视野光圈的三角形部分在扫描方向上重叠的方式分别在垂直于扫描方向的方向上偏移长度S的量进行配置。进而，关于由该3列的微透镜列构成的微透镜列组，微透镜列组例如在垂直于扫描方向的方向上偏移微小移位量F而配置，例如，偏移2μm。由此，在使用微透镜阵列的曝光装置中，即使对于垂直于扫描方向的方向也能防止产生曝光不均。

主权项

一种微透镜阵列，相互层叠多片以二维方式配置有多个微透镜的单位微透镜阵列而构成，所述微透镜阵列的特征在于，在所述单位微透镜阵列间的反转成像位置配置有具有多边形的开口的多边视野光圈，所述微透镜在第一方向上隔开适当长度间隔排列有多个而构成列，该多个微透镜列在与第一方向正交的第二方向上隔开适当长度间隔进行配置，在将由所述多边视野光圈规定的视野区域分解成矩形和其两侧的三角形时，该一侧的三角形部分、矩形部分和另一侧的三角形部分在所述第一方向上相连，在多个所述微透镜列中的每一个中，所述微透镜以使其一侧的所述三角形部分与对于该微透镜在第二方向上邻接的另一个微透镜的另一侧的所述三角形部分关于所述第二方向重叠的方式，在所述第一方向上偏移地进行配置，由所述多个微透镜列构成的微透镜列组相对于在其所述第二方向上邻接的另一个微透镜列组在所述第一方向上偏移比所述视野区域的所述第一方向上的长度短的距离的量进行配置。