一种激光退火装置及方法

摘要

本发明提供了一种激光退火装置包括：激光退火单元，用于对所述加工对象进行激光退火；反射率检测单元，用于检测与分析所述加工对象的表面状态；工件台，用于放置一加工对象；其中，所述激光退火单元包括：激光器、扩束系统、匀光系统、分光系统、聚焦系统。本发明不需要外加探测光源，直接把激光的透射光作为参考光，将加工对象表面的反射光与透射光作对比，随加工时间变化，得出不同的反射光与透射光的比率，进而推算出加工对象表面的反射率变化，进而得到加工对象的表面状态，当加工对象的表面状态为液态时，表示激光退火完成。

主权项

一种激光退火装置，其特征在于，包括：激光退火单元，用于对所述加工对象进行激光退火；反射率检测单元，用于检测与分析所述加工对象的表面状态；工件台，用于放置一加工对象；其中，所述激光退火单元包括：激光器，用于射出激光；扩束系统，用于对所述激光器射出的激光进行扩束；匀光系统，用于对所述扩束系统扩束的激光进行匀光；分光系统，用于对经所述匀光系统匀光的激光进行第一分光；其中，所述分光系统将所述激光器射出的99%的激光分出作为第一反射光，并将所述激光器射出的其余1%的激光分出作为透射光；聚焦系统，用于对所述分光系统分出的第一反射光进行聚焦。