纳米硅粉的生产方法

摘要

本发明公开一种纳米硅粉的生产方法，制备步骤如下：将粗的硅粉放入送粉器中，对送粉器系统抽真空，并充入惰性气体；启动等离子体喷涂系统，调节等离子喷枪的电流和电压使得等离子喷枪的功率达到预定值；启动送粉器，使粗的硅粉在气体输送下穿过等离子喷枪的等离子弧，粗的硅粉经过等离子弧几千度甚至上万度的瞬间加热气化，成为硅蒸气，在冷却釜中，硅蒸气冷却下来形成纳米硅粉,一部分沉积下来，另一部分硅蒸气冷却下来形成纳米硅粉在气体的带动下经过粉体过滤器后，硅粉被收集下来，气体被排空或冷却后循环使用。本发明具有纯度高、粒径分布均匀，分散性好，活性高，并且为球形的优点。

主权项

一种纳米硅粉的生产方法，其特征在于：制备步骤包括：    （1）将粗的硅粉放入送粉器中，对送粉器系统抽真空，并充入惰性气体；    （2）启动等离子体喷涂系统，调节等离子喷枪的电流和电压使得等离子喷枪的功率达到预定值；    （3）启动送粉器，使粗的硅粉在气体输送下穿过等离子喷枪的等离子弧，粗的硅粉经过等离子弧几千度甚至上万度的瞬间加热气化，成为硅蒸气，在冷却釜中，硅蒸气冷却下来形成纳米硅粉，一部分沉积下来，另一部分硅蒸气冷却下来形成纳米硅粉在气体的带动下经过粉体过滤器后，硅粉被收集下来，气体被排空或冷却后循环使用；    步骤（1）所述的粗硅粉为粒径1~50微米的粗硅粉；步骤（2）所述的等离子喷枪的电流范围为70~250A，电压为100~200V；步骤（3）所述的送粉器的送粉量为0.5～15Kg/h。