真空吸附控制机构装置、薄膜粘贴装置、薄膜粘贴方法

摘要

本发明的目的在于提供一种结构简单并且能够高精度地将薄膜粘贴于被粘贴物的真空吸附控制机构装置。本发明的真空吸附控制机构装置的特征在于，包括：第一部件，在表面具有能够与减压源连接的多个吸附孔；和第二部件，被设置为能够与多个所述吸附孔接触，并且能够相对于所述第一部件进行相对移动，所述第二部件具有将与所述第一部件和所述第二部件的相对位置对应的数量的吸附孔与所述减压源连接的构件。

主权项

一种真空吸附控制机构装置，其特征在于，包括：第一部件，该第一部件能够调节相对于被吸附物的相对位置，具备弯曲形状的表面和平面形状的侧面，并且所述表面具有能够与减压源连接且能够吸附被吸附物的多个吸附孔；和第二部件，被设置为能够与多个所述吸附孔接触，并且以能够相对于所述第一部件进行相对旋转的方式设置于所述侧面，所述第二部件具有将与所述第一部件和所述第二部件的相对位置对应的数量的吸附孔与所述减压源连接的构件，所述第二部件具有：槽部，设置于与所述第一部件的所述侧面相对的面上，具有与所述弯曲形状对应的形状；和孔部，从所述槽部贯通至所述第二部件的外部，与所述减压源连接，多个所述吸附孔被设置为贯通所述第一部件的侧面和表面，且所述侧面的贯通部分被排列设置为与所述槽部的形状对应的排列形状，所述第一部件或所述第二部件能够沿着所述弯曲形状的弯曲方向移动，通过所述第二部件相对于所述第一部件进行相对旋转，所述第二部件的所述槽部相对于所述第一部件进行相对移动，与所述槽部接触的所述吸附孔与所述减压源连接。