一种真空密闭石英舟

摘要

本实用新型涉及一种真空密闭石英舟，具有管状舟壁，至少4个支撑脚，分别位于石英舟前后两端，所述管状舟壁头尾分别具有前端密封口和后端密封口与管状舟壁共同形成了密闭的管状舟体；所述管状舟体内部为真空状态。本实用新型采用了密闭、真空结构的石英舟，使得CVD方法制备石墨烯时反应室抽真空速度快，沉积结束后能将反应的副产物及未反应的碳源和氢气快速抽走；石英舟每端两个支撑脚，使得管内的气流均匀，并保证石英舟在管中的稳定性；石英舟使用时，环境温度高，石英舟密闭真空，避免了内部气体受高温剧烈膨胀而发生爆炸。

主权项

一种真空密闭石英舟，具有管状舟壁（1），至少4个支撑脚（2），分别位于石英舟前后两端，其特征在于：所述管状舟壁（1）头尾分别具有前端密封口（3）和后端密封口（4）与管状舟壁（1）共同形成了密闭的管状舟体；所述管状舟体内部为真空状态。