一种三自由度精密定位平台

摘要

本实用新型公开了一种三自由度精密定位平台，包括基座和设置在其内部的动平台，基座和动平台通过三个沿动平台的周向均布的铰链放大机构和三个板形柔性铰链机构连接；每个铰链放大机构的一端与基座柔性连接，另一端和动平台柔性连接，中部设有一输入端，输入端与压电陶瓷驱动器连接；每个板形柔性铰链机构包括一块弧形柔性板和垂直固定在其上的1～5块径向柔性板。本实用新型能够实现两平动一转动，结构简单紧凑；利用铰链放大机构进行位移放大和力的传递，使得板形柔性铰链机构发生弹性变形，从而带动动平台运动，实现微纳米位移的输出，输出位移较大，轴向刚度较高；可作为纳米微操作系统的辅助定位平台实现微量进给和精密定位。

主权项

一种三自由度精密定位平台，其特征在于，包括基座和设置在其内部的动平台，所述基座和所述动平台通过三个沿所述动平台的周向均布的铰链放大机构和三个板形柔性铰链机构连接；每个所述铰链放大机构的一端与所述基座柔性连接，另一端和所述动平台柔性连接，中部设有一输入端，铰链放大机构的输入端通过柔性铰链和球型接头与压电陶瓷驱动器连接，所述压电陶瓷驱动器安装在所述基座上，所述压电陶瓷驱动器沿所述动平台的径向设置，在所述压电陶瓷驱动器的输出端上固接有所述球型接头，所述球型接头与所述柔性铰链相切接触，所述柔性铰链固定在所述铰链放大机构的输入端上；每个所述板形柔性铰链机构包括一块弧形柔性板和垂直固定在其上的1～5块径向柔性板，所述弧形柔性板沿所述动平台的周向设置，所述弧形柔性板的两端固定在所述基座上，所述径向柔性板的内端固定在所述动平台上；三个所述板形柔性铰链机构和三个所述压电陶瓷驱动器间隔均布在所述动平台的周向上。