| 摘要 |
Σε μια διαδικασία και συσκευή για την εναπόθεση στρώματος τουλάχιστον μερικώς κρυσταλλικού πυριτίου, δημιουργείται πλάσμα και ένα υπόστρωμα (24) εκτίθεται, κάτω από την επίδραση του πλάσματος, σε πυριτιούχο υγρό-πηγή για την εναπόθεση πυριτίου από αυτό. Προκαλείται πτώση πίεσης (υποπίεση) μεταξύ ενός σημείου (12), όπου παρέχεται το υγρό-πηγή, και του υποστρώματος (24). Επιπλέον του υγρού-πηγή, εγχέεται επίσης βοηθητικό υγρό, το οποίο έχει τη δυνατότητα να αποξέει μη-κρυσταλλικά άτομα πυριτίου. Το υπόστρωμα (24) εκτίθεται τόσο στο υγρό-πηγή όσο και στο βοηθητικό υγρό. |
