减压干燥装置以及减压干燥方法

摘要

本发明提供一种减压干燥装置以及减压干燥方法。在减压干燥装置中，在减压干燥处理之后，通过供气口(一侧供气口)向腔室内供给氮气，所述供气口从基板的中心位置观察时向水平方向一侧(+Y侧)的空间区域内开口。因此，在供气后不久，在供气口所处的+Y侧的空间区域内形成正压的环境。其结果为，在藉由供气而产生于腔室内的气流AF2中，在基板的第1主面侧流动的气流成为从+Y侧向-Y侧的单向气流。由此，“压力集中区域”产生于基板的第1主面侧的可能性下降。即，在压力集中区域内所产生的溶剂成分的液滴附着于基板的第1主面侧的残渣缺陷的风险下降。

主权项

一种减压干燥装置，对基板进行减压干燥处理，所述基板包括第1主面及第2主面，并且在所述第1主面上涂布有包含溶剂的涂布液，所述减压干燥装置的特征在于，包括：腔室，收纳所述基板；支撑部，在所述腔室内以水平姿势支撑所述基板；排气部，通过向所述腔室内开口的排气口而对所述腔室内进行排气；供气部，通过向所述腔室内开口的供气口而对所述腔室内供气；以及控制部，控制所述排气部的所述排气以及所述供气部的所述供气，并且在所述供气口中，包含至少一个一侧供气口，所述至少一个一侧供气口沿规定的水平方向，从被所述支撑部支撑的所述基板的中心观察时向一侧的第1空间区域内开口，在所述腔室内进行所述基板的减压干燥之后，所述控制部控制所述供气部而使所述腔室内压力恢复时，使用所述一侧供气口对所述腔室内供气，由此至少在所述基板的所述第1主面上形成单向气流，所述单向气流沿所述水平方向，从所述第1空间区域越过所述中心而流向另一侧的第2空间区域内。