等离子体系统的回馈控制方法及其系统

摘要

一种等离子体系统的回馈控制方法及其系统，该等离子体系统包含一个等离子体产生腔室、一个光传感器、一个操作模块，及一个控制模块，且该控制模块具有一个包括有多种对应不同等离子体制程条件的等离子体标准光谱的标准光谱数据库。借由该光传感器对该等离子体产生腔室中气体电离产生等离子体时所发出的光进行检测，并将其转换得到一个放光光谱，再将该放光光谱与该标准光谱数据库中相对应等离子体制程条件的等离子体标准光谱进行比对，经由比对的结果以实时调整与控制该等离子体系统的制程条件与参数。

主权项

一种等离子体系统的回馈控制方法，其特征在于包含以下步骤：建立一个等离子体系统，用以在一个基板的表面进行预定的等离子体制程，该等离子体系统具有一个进行等离子体制程的等离子体产生腔室、一个光传感器，用以感测自该等离子体产生腔室发出的光、一个用以控制该等离子体系统的制程参数的操作模块，及一个电连接于该光传感器与该操作模块的控制模块，该控制模块具有一个标准光谱数据库，包括多种对应不同等离子体制程条件的等离子体标准光谱；该光传感器检测该等离子体产生腔室中气体电离产生等离子体时所发出的光，并将其转换得到一个放光光谱；将该光传感器测得的放光光谱传送至该控制模块,该控制模块将该放光光谱与该标准光谱数据库中相对应等离子体制程条件的等离子体标准光谱进行比对，再依该比对结果自该控制模块对该操作模块输出一个控制信号。