发明名称 基于偏振态检测的保偏平光纤耦合球微尺度传感器
摘要 基于偏振态检测的保偏平光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术;该传感器包括激光器、半透半反棱镜、<img file="DSA0000102468930000011.GIF" wi="70" he="105" />波片、探针、偏振态检测装置A、偏振态检测装置B、计算机,其中探针由平包层保偏光纤和耦合球组成,激光器、半透半反棱镜、<img file="DSA0000102468930000012.GIF" wi="69" he="105" />波片、探针依次排列,所述激光器出射光分别经半透半反棱镜反射、透射,反射光进入偏振态检测装置A,透射光进入探针并经过耦合球实现光束反向传输由探针出射,出射光再次经过<img file="DSA0000102468930000013.GIF" wi="69" he="105" />波片并由半透半反棱镜反射进入偏振态检测装置B,当偏振态检测装置B检测到的偏振态相对于偏振态检测装置A检测到的偏振态的差值发生变化时,即可判断探针与被测孔发生触测;本传感器精度高、速度快。
申请公布号 CN103900481A 申请公布日期 2014.07.02
申请号 CN201410118966.5 申请日期 2014.03.20
申请人 哈尔滨工业大学 发明人 崔继文;冯昆鹏;谭久彬
分类号 G01B11/02(2006.01)I 主分类号 G01B11/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1.一种基于偏振态检测的保偏平光纤耦合球微尺度传感器,其特征在于:所述传感器包括激光器(1)、半透半反棱镜(2)、<img file="FSA0000102468950000011.GIF" wi="74" he="109" />波片(3)、探针(4)、偏振态检测装置A(8)、偏振态检测装置B(9)、计算机(11),所述的探针(4)由光纤(5)和耦合球(6)组成,所述光纤(5)是平包层保偏光纤,光纤(5)由平包层(12)和纤芯(13)构成,光纤(5)的一端与耦合球(6)固定连接,耦合球(6)作为探针(4)的触点;激光器(1)、半透半反棱镜(2)、<img file="FSA0000102468950000012.GIF" wi="73" he="110" />波片(3)、探针(4)依次排列,其中激光器(1)的出射光经半透半反棱镜(2)透射的光束光轴与光纤(5)的光轴重合,所述偏振态检测装置A(8)位于激光器(1)的出射光经半透半反棱镜(2)反射后的反射光路光轴A(10a)上,偏振态检测装置B(9)位于探针(4)的出射光经半透半反棱镜(2)反射后的反射光路光轴B(10b)上,通过数据线分别将偏振态检测装置A(8)和偏振态检测装置B(9)与计算机(11)相连,探针(4)置于被测孔(7)内;以所述偏振态检测装置A(8)检测到的光束的偏振态作为参考信号,以所述偏振态检测装置B(9)检测到的光束的偏振态作为检测信号,当检测信号的偏振态相对于参考信号的偏振态的差值发生变化时,探针(4)与被测孔(7)发生触测。
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