一种晶舟结构

摘要

本实用新型提供一种晶舟结构，所述晶舟结构至少包括：位于底部的两根连接柱，所述连接柱两端分别固定有前挡板及后挡板，所述前挡板与所述后挡板之间设置有多个平行且间隔排列的支撑板，所述支撑板为下宽上窄的无底边的框体结构。本实用新型的晶舟结构的支撑板减小了卡槽的槽位宽度，很好的固定了减薄晶圆，能直接用带晶舟的水晶盒来储存和运输减薄晶圆，不需要将减薄晶圆从水晶盒中转移到圆盒或黑盒中，减少不必要的重复劳动，同时避免减薄晶圆在带普通晶舟的水晶盒中储存和运输时遇到的因晃动而变形甚至破片的情况，提高减薄晶圆的良品率，保证后续工艺的正常运作。

主权项

一种晶舟结构，其特征在于，所述晶舟结构至少包括：位于底部的两根连接柱，所述连接柱两端分别固定有前挡板及后挡板，所述前挡板与所述后挡板之间设置有多个平行且间隔排列的支撑板，所述支撑板为下宽上窄的无底边的框体结构。