一种半导体设备的机械臂的动态传感器结构

摘要

本发明提供一种半导体设备的机械臂的动态传感器结构，包括机械臂、旋转马达、控制器和若干角度传感器，若干角度传感器设于机械臂的一端上，机械臂的另一端与旋转马达连接，旋转马达驱动机械臂旋转，旋转马达和若干角度传感器分别与控制器连接，若干角度传感器实时将机械臂一端的旋转角度传递至控制器。本发明的技术方案精确控制硅片在机械传送过程中的物理状态，实时调整目标角度，适应了先进半导体制程的需要。

主权项

一种半导体设备的机械臂的动态传感器结构，其特征在于，包括机械臂、旋转马达、控制器和若干角度传感器，所述若干角度传感器设于所述机械臂的一端上，所述机械臂的另一端与所述旋转马达连接，所述旋转马达驱动所述机械臂旋转，所述旋转马达和若干角度传感器分别与所述控制器连接，所述若干角度传感器实时将所述机械臂一端的旋转角度传递至所述控制器，所述控制器根据预定的旋转角度和所述若干角度传感器传递的旋转角度控制所述旋转马达驱动所述机械臂旋转。