具有基本上正交的钉扎方向的双轴磁场传感器

摘要

一种制造处理和装置从两种差分传感器配置(502、512)提供了高性能的磁场传感器(200)，只需要由蚀刻成高纵横比形状的单个参考层形成的两个不同的钉扎轴，其长轴(506、516)关于不同的朝向延伸，使得所述高纵横比构图提供迫使每个构图形状的磁化沿其各自期望的轴松弛的形状各向异性。当加热和冷却时，铁磁膜通过以下中的一个被钉扎到不同的期望方向：1)在淀积步骤过程中修改参考层固有的各向异性，2)当蚀刻时，以与另一个构图形状的长轴的非正交角度形成一个构图形状的长轴，或者3)当钉扎参考层时施加补偿场。

主权项

一种基于铁磁薄膜的磁场传感器，其中所述磁场传感器包括两个或更多个参考层磁化方向，所述磁场传感器包括：衬底；在所述衬底之上的第一绝缘层；在所述第一绝缘层之上的第一传感器层堆叠，所述第一传感器层堆叠包括在所述第一绝缘层之上的第一参考层；以及在所述第一绝缘层之上的第二传感器层堆叠，所述第二传感器层堆叠包括在所述第一绝缘层之上的第二参考层；其中所述第一电极堆叠具有定义用于所述第一参考层的第一参考方向的第一形状各向异性，并且所述第二电极堆叠具有定义用于所述第二参考层的第二参考方向的第二形状各向异性，其中所述第二参考方向与所述第一参考方向不同，其中所述第一参考层和所述第二参考层分别具有第一长轴和第二长轴，所述第一长轴和所述第二长轴定位成确保所述第一参考方向和所述第二参考方向是彼此正交的；以及以下中的至少一个：所述第一参考层和所述第二参考层都具有被修改过的各向异性；及所述第一长轴和所述第二长轴是以非正交的角度设置的。