用于太阳能电池膜面开窗工艺的装置

摘要

本实用新型涉及一种用于太阳能电池膜面开窗工艺的装置，属于太阳能光伏电池制造技术领域。主要特点是具有进气管路和出气管路的腔体；腔体设置有开窗区域和真空区域，真空区域内置入真空管路，真空管路将硅片吸住，从进气管路通进反应气体。本实用新型主要通过采用能腐蚀SiO2(或SiNx/Al2O3/a-Si等所有能起到钝化和减反效果的薄膜)的气体(氢氟酸气体或添加有添加剂的氢氟酸气体的混合物等等所有能腐蚀这种薄膜的气体)来腐蚀膜面达到开窗的目的，高效的气体腐蚀速率，不仅产能高、工艺相对稳定适合量产，而且有效的克服了激光初次投入成本高和腐蚀浆料后期运营成本高的缺点。

主权项

一种用于太阳能电池膜面开窗工艺的装置，其特征是，所述装置是具有进气管路和出气管路的腔体；腔体设置有开窗区域和真空区域，真空区域内置入真空管路，真空管路将硅片吸住，从进气管路通进反应气体。