薄膜

摘要

一种薄膜，适用于安装在化学机械研磨机的研磨头上，且薄膜包括主要部分及边缘部分。边缘部分位于主要部分的边缘，其特征在于主要部分与边缘部分之间的第一夹角为钝角。本发明可使经研磨后的基材具有较佳的表面平坦度。

主权项

一种薄膜，适用于安装在一化学机械研磨机的一研磨头上，该薄膜包括：一主要部分；以及一边缘部分，位于该主要部分的边缘，该主要部分与该边缘部分之间的一第一夹角为钝角，该薄膜的特征在于，该研磨头的一框架包括一框架主体及一固定环，该薄膜安装于该框架主体上，且该固定环围绕且连接该框架主体，当该固定环压迫一研磨垫时，使得位于该固定环内部的该研磨垫形成一突起部，而在该研磨垫的一平坦部与该突起部之间形成一第二夹角，该第一夹角大体上等于该第二夹角。