制备太阳能电池的方法及所制成的太阳能电池

摘要

本发明涉及制备太阳能电池的方法及所制成的太阳能电池。所述制备太阳能电池的方法包括用于选择性发射极形成的扩散方法，其中，该扩散方法包括：执行第一驱动以将第一掺杂浆料中的掺杂原子驱入到晶片的预定区域中；执行预氧化以在晶片表面上生成硅氧化物；执行沉积以利用第二掺杂源在晶片表面上形成磷硅玻璃；以及执行第二驱动步骤以将所述磷硅玻璃中的掺杂原子驱入到晶片中。根据本发明，在太阳能电池的制造过程中有助于防止形成选择性扩散区的浆料残留于晶片上，并能够在现有生产线中形成具有所期望的性能的扩散区而不会导致额外的成本。

主权项

一种制备太阳能电池的方法，包括用于选择性发射极形成的扩散方法，所述扩散方法包括以下步骤：执行第一驱动以将第一掺杂浆料中的掺杂原子仅驱入到晶片的预定区域中；执行预氧化以在晶片表面上生成硅氧化物；执行沉积以利用第二掺杂源在晶片表面上形成磷硅玻璃；以及执行第二驱动以将所述磷硅玻璃中的掺杂原子驱入到晶片中。