等离子功率供给装置

摘要

本发明涉及一种具有DC供电装置和与所述DC供电装置连接的开关电桥(12)的HF功率放大器装置(11)，所述开关电桥(12)包含两个至少间接地串联的开关元件(S1，S2)并且所述开关电桥的中点(M)形成开关电桥输出端，其中，第一开关元件(S1)是通过主动的控制信号发生器控制的，设有用于由于所述第一开关元件(S1)的工作状态改变而产生用于第二开关元件(S2)的控制信号的辅助电路。

主权项

用于产生具有高于3MHz的频率和高于500W的功率的HF信号的等离子功率供给装置，包括一HF功率放大器装置（11），所述HF功率放大器装置（11）具有一DC供电装置和一与所述DC供电装置连接的开关电桥（12），所述开关电桥（12）包含两个串联的开关元件（S1，S2）并且所述开关电桥的中点（M）形成开关电桥输出端，其中，设有用于由于第一开关元件（S1）的工作状态改变而产生用于第二开关元件（S2）的控制信号的辅助电路，其特征在于，第一开关元件（S1）是通过一主动的控制信号发生器控制的，其中，所述辅助电路包括一电容器，所述电容器连接在所述第二开关元件（S2）与所述中点（M）之间或者所述第二开关元件（S2）与所述DC供电装置的一电位（13）之间，所述电容器的电容的大小是所述第一开关元件（S1）的功率连接端子之间的电容的大小的至少两倍。