| 发明名称 | CCD移动装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及曝光机领域，具体而言，涉及一种CCD移动装置。该CCD移动装置包括框架和位于框架上的X移动部件、X方向伺服系统和Y方向伺服系统；X方向伺服系统驱动X移动部件沿X方向移动；Y方向伺服系统驱动CCD在X移动部件上沿Y方向移动。CCD在框架上均可以移动至PCB板的定位孔的位置，使CCD随着定位孔的偏离而移动，从而提高PCB板与底片的定位精度。 | ||
| 申请公布号 | CN203689002U | 申请公布日期 | 2014.07.02 |
| 申请号 | CN201320889588.1 | 申请日期 | 2013.12.31 |
| 申请人 | 四川聚能核技术工程有限公司 | 发明人 | 李炬;佘瑞峰;李辉;肖丽;王金鹏;李松凌 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人 | 吴开磊 |
| 主权项 | 一种CCD移动装置，其特征在于，包括框架和位于所述框架上的X移动部件、X方向伺服系统和Y方向伺服系统；所述X方向伺服系统驱动所述X移动部件沿X方向移动；所述Y方向伺服系统驱动CCD在所述X移动部件上沿Y方向移动。 | ||
| 地址 | 621700 四川省绵阳市江油市德胜南路87号 | ||