一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器

摘要

本实用新型公开了一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器。通过理论仿真和推导，设计了超薄金属膜厚系列、亚波长尺寸的圆形微孔阵列，利用光与金属表面微型阵列相互作用产生的等离子体激元效应，任意光照射到微结构阵列上，在可见光某个波段会产生透射率极小值，相应的会呈现出该极小值波长所对应颜色的补色，而对该波长以外的光具有超高的透射率。本实用新型利用磁控溅射在玻璃基片上蒸镀了超薄银膜，再用电子束曝光（EBL）技术在Ag膜表面成功制作出亚波长尺寸圆形小孔结构阵列的滤波器。本实用新型制备的滤波器不依赖于光源的偏振特性，具有很高的透射效率，易于制造和设备集成，在高温、高湿度和长期的辐射暴露下具有更高的可靠性。

主权项

一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器，其特征在于，所述的超高透射率减色滤波器具有一个玻璃基片，在玻璃基片上设有一层Ag膜，所述的Ag膜厚范围是20~30nm，在Ag膜上刻有周期性圆形小孔。