发明名称 |
化学气相淀积装置中硅基气体的控制方法 |
摘要 |
本发明提供一种化学气相淀积(ChemicalVaporDeposition,CVD)装置中硅基气体的控制方法,属于半导体制造技术领域。在该控制方法中,在CVD装置的腔体气阀打开前,排气气路的排气阀在开始对CVD装置的腔体中的晶圆加热时、或者在对CVD装置的腔体中的晶圆加热中被打开,以延长打开所述排气阀与打开所述腔体气阀之间的时间段。 |
申请公布号 |
CN102817014B |
申请公布日期 |
2014.07.02 |
申请号 |
CN201110151800.X |
申请日期 |
2011.06.08 |
申请人 |
无锡华润上华科技有限公司 |
发明人 |
沈金栋;李勇;吴大强 |
分类号 |
C23C16/52(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/52(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
臧霁晨;高为 |
主权项 |
一种化学气相淀积装置中硅基气体的控制方法,其中,所述化学气相淀积装置的气路控制装置包括:流量控制气路;与所述流量控制气路相通的排气气路;以及与所述流量控制气路相通的入腔气路;所述流量控制气路上设置流量控制装置和出口阀,所述排气气路上设置排气阀,所述入腔气路上设置腔体气阀;其特征在于,在所述腔体气阀打开前,所述排气阀在开始对所述化学气相淀积装置的腔体中的晶圆加热时、或者在对所述化学气相淀积装置的腔体中的晶圆加热中被打开,以延长打开所述排气阀与打开所述腔体气阀之间的时间段。 |
地址 |
214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 |