| 发明名称 | 静电卡盘和反应腔室 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种静电卡盘和反应腔室。该静电卡盘包括：静电卡盘组件、冷却件、支撑隔热件和密封隔热件，所述静电卡盘组件位于所述冷却件的上方，所述支撑隔热件设置于所述静电卡盘组件和所述冷却件之间，所述密封隔热件设置于所述静电卡盘组件和所述冷却件之间，且所述密封隔热件分别与所述静电卡盘组件和所述冷却件密封连接，所述密封隔热件位于所述支撑隔热件的外侧，所述密封隔热件和所述支撑隔热件之间形成有间隔空间，所述间隔空间用于引出引线。本发明的技术方案降低了静电卡盘内部引线引出的难度，且大大降低了加工的难度，降低了加工成本。 | ||
| 申请公布号 | CN103904014A | 申请公布日期 | 2014.07.02 |
| 申请号 | CN201210590493.X | 申请日期 | 2012.12.31 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 聂淼 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;张天舒 |
| 主权项 | 一种静电卡盘，其特征在于，包括：静电卡盘组件、冷却件、支撑隔热件和密封隔热件，其中：所述静电卡盘组件位于所述冷却件的上方，所述支撑隔热件设置于所述静电卡盘组件和所述冷却件之间，所述密封隔热件设置于所述静电卡盘组件和所述冷却件之间，且所述密封隔热件分别与所述静电卡盘组件和所述冷却件密封连接，所述密封隔热件位于所述支撑隔热件的外侧，所述密封隔热件和所述支撑隔热件之间形成有间隔空间，所述间隔空间用于引出引线。 | ||
| 地址 | 100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号 | ||