晶舟

摘要

本实用新型公开了一种晶舟，其包括主体部及挡条，所述主体部包括间隔设置的一对侧壁，所述一对侧壁上均设有若干水平间隔设置的收容槽，所述晶圆的两端分别可收容到相应侧壁的收容槽内，并可沿收容槽滑动，其中一个侧壁上设有与收容槽垂直设置的安装槽，所述挡条安装在安装槽内，所述挡条设有若干与收容槽对应的开槽，所述挡条可在开启位置与锁闭位置之间移动，在开启位置时，所述开槽与收容槽贯通，所述晶圆可以通过，在锁闭位置时，所述开槽与收容槽错开，所述晶圆不能通过，进一步包括安装在主体部上的自动锁止组件，所述自动锁止组件驱动所述挡条位于锁闭位置。本实用新型晶舟可自动锁闭，从而防止晶片滑落，及产生颗粒少。

主权项

一种晶舟，其用以收容晶圆并可放置在作业平台上，所述晶舟包括主体部及安装在主体部上的挡条，所述主体部包括间隔设置的一对侧壁、及位于该对侧壁之间的收容晶圆的收容空间，所述一对侧壁上均设有若干水平间隔设置的收容槽，所述晶圆的两端分别可收容到相应侧壁的收容槽内，并可沿收容槽滑动，其中一个侧壁上设有与收容槽垂直设置的安装槽，所述挡条安装在安装槽内，所述挡条设有若干与收容槽对应的开槽，所述挡条可在开启位置与锁闭位置之间移动，在开启位置时，所述开槽与收容槽贯通，所述晶圆可以通过，在锁闭位置时，所述开槽与收容槽错开，所述晶圆不能通过，其特征在于：进一步包括安装在主体部上的自动锁止组件，当所述晶舟脱离所述作业平台时，所述自动锁止组件驱动所述挡条位于锁闭位置。