发明名称 垂直式光波导及其制造方法
摘要 一种垂直式光波导,其包括一个基底,在该基底的顶面上垂直于该顶面开设有一个第一凹槽及一个第二凹槽,该第一凹槽的延伸方向与该第二凹槽的延伸方向互相平行,该第一凹槽与该第二凹槽之间形成一个突起部,该突起部上扩散有钛金属。该突起部的两侧均垂直于顶面,相对于脊型结构两侧更加平整,光遇到不容易被散射掉,提高了光的利用率。另,本发明还涉及一种垂直式光波导的制造方法。
申请公布号 CN103901535A 申请公布日期 2014.07.02
申请号 CN201210589103.7 申请日期 2012.12.29
申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 发明人 李秉衡
分类号 G02B6/122(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I 主分类号 G02B6/122(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种垂直式光波导,其包括一个基底,在该基底的顶面上垂直于该顶面开设有一个第一凹槽及一个第二凹槽,该第一凹槽的延伸方向与该第二凹槽的延伸方向互相平行,该第一凹槽与该第二凹槽之间形成一个突起部,该突起部上扩散有钛金属。
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