一种高纯钴靶材坯料与背板的焊接方法

摘要

本发明涉及一种高纯钴靶材坯料与背板的焊接方法，包括依次进行的如下步骤：将高纯钴靶材坯料和背板的表面分别进行机械加工；将机械加工后的高纯钴靶材坯料和背板用有机清洗溶剂清洗；将清洗后的高纯钴靶材坯料和背板采用热压炉在压力为50～160MPa、温度为300～400℃、热压行程为8～12mm的条件下进行扩散焊3～5小时，然后进行冷却、卸压；将处理后的工件进行机械加工，得到有6061铝合金背板的高纯钴靶材组件。本发明采用热压炉扩散焊接，使得造价降低；此外，高纯钴靶材坯料与6061铝合金背板之间的结合率可以达到99%以上，且结合强度高，结合后弯曲变形小，对靶材组件的总体性能没有明显影响。

主权项

一种高纯钴靶材坯料与背板的焊接方法，其特征在于：包括依次进行的如下步骤：（1）、将高纯钴靶材坯料和背板的表面分别进行机械加工，其中，所述的背板的材质为6061铝合金，所述的高纯钴靶材坯料的面积小于所述的背板的面积；（2）、将步骤（1）机械加工后的高纯钴靶材坯料和背板用有机清洗溶剂清洗；（3）、将步骤（2）清洗后的高纯钴靶材坯料和背板采用热压炉在压力为50~160 MPa、温度为300~400℃、热压行程为8~12mm的条件下进行扩散焊3~5小时，然后进行冷却、卸压；（4）、将步骤（3）处理后的工件进行机械加工，得到有6061铝合金背板的高纯钴靶材组件。