洁净系统

摘要

本发明的目的在于提供一种不必对洁净滚轮实施维护作业，而可以长期持续通过洁净滚轮的吸附异物的动作的洁净系统。洁净滚轮11是，与被洁净材料S的表面接触的同时一边旋转一边相对移动，利用静电力除去附着在被洁净材料S的表面上的尘埃等的异物的滚轮。转印滚轮21一边与洁净滚轮11的表面接触一边旋转。洁净滚轮11，通过电压稳定化电路12接地，能够将用以通过静电力吸附的电荷稳定地带点在滚轮表面。转印滚轮21是能够将用于通过静电力吸附附着在洁净滚轮11的表面上的异物的电荷在表面带电的滚轮，连接外部电源31，使用以通过静电力吸附异物的带电压保持一定。

主权项

一种洁净系统，是具备与被洁净材料的表面接触的同时一边旋转一边相对移动的洁净滚轮，通过所述洁净滚轮利用静电力除去附着在所述被洁净材料的表面上的异物的洁净系统，其特征在于，相对于所述洁净滚轮，设有一边与该洁净滚轮的表面接触一边旋转的转印滚轮；所述洁净滚轮是能够在表面带有用以通过静电力吸附附着在所述被洁净材料表面上的异物的电荷的滚轮；所述转印滚轮是能够在表面带有用以通过静电力吸附附着在所述洁净滚轮表面上的异物的电荷的滚轮；所述洁净滚轮，通过电压稳定化电路接地，在所述转印滚轮上，直接或间接地连接外部电源；所述电压稳定化电路是能够变更用以通过静电力吸附所述异物的所述洁净滚轮的带电压的电路。