发明名称 |
一种多晶硅还原尾气回收利用的方法及系统 |
摘要 |
一种多晶硅还原尾气回收利用的方法及系统,涉及多晶硅生产技术领域,将还原尾气冷却后进行多次气液分离和换热,将换热后的氢气和氯化氢进入活性炭吸附柱(7)中将氯化氢吸附,剩余的氢气进入纯净氢气管道(5)回到生产系统循环使用,氯化氢由活性炭吸附柱(7)解析后通过再生气管道(6)氢化作为原料使用;本发明实现了系统内物料之间分阶段相互换热,充分利用系统本身能量,达到节能降耗目的。 |
申请公布号 |
CN103896273A |
申请公布日期 |
2014.07.02 |
申请号 |
CN201410112982.3 |
申请日期 |
2014.03.25 |
申请人 |
洛阳利尔中晶光伏材料有限公司 |
发明人 |
许超;赵伟;丰文祥;赵继增;栗纪军 |
分类号 |
C01B33/03(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/03(2006.01)I |
代理机构 |
洛阳市凯旋专利事务所 41112 |
代理人 |
陆君 |
主权项 |
一种多晶硅还原尾气回收利用的方法,所述还原尾气包括氯硅烷、氢气和氯化氢,其特征是:所述方法包括以下步骤:(1)第一次气液分离步骤:将还原尾气冷却后进行第一次气液分离,将分离后的气体进行第一次换热,冷凝下的液体进入冷凝液罐(3)后与进行换热的气体进行换热;(2)换热步骤:接上一步骤,换热后,冷凝下的液体通过冷凝液体管道(1)进入提纯系统循环利用,将气体进行第二次换热;(3)第二次气液分离步骤:接上一步骤,将换热后的气体进行第二次气液分离,将分离后的气体进行第三次换热冷却;(4)第三次气液分离步骤:接上一步骤,换热冷却后气体中的氯硅烷汇集到冷凝液罐(3),将气体中的氢气和氯化氢继续进行第四次换热;(5)吸附步骤:接上一步骤,换热后的氢气和氯化氢进入活性炭吸附柱(7)中将氯化氢吸附,剩余的氢气进入纯净氢气管道(5)回到生产系统循环使用,氯化氢由活性炭吸附柱(7)解析后通过再生气管道(6)氢化作为原料使用。 |
地址 |
471322 河南省洛阳市伊川县白沙镇产业集聚区 |