光电编码器的光栅尺

摘要

本发明提供光电编码器的光栅尺，该光栅尺有效地保护其基底不腐蚀、锈蚀和破裂。该光栅尺具有：基底(10)；吸光层(12)，包括至少形成在基底(10)的表面的区域上的DLC层；以及反光层(14)，对落入波长范围的光具有比吸光层(12)更高的反射率，并且在吸光层(12)上形成为光栅。

主权项

一种光电编码器的光栅尺，该光电编码器检测在预定波长范围内的光的反射，该光栅尺包括：基底；吸光层，包括至少形成在该基底的一个表面上的类金刚石碳层；以及反光层，对落入该预定波长范围的光具有比该吸光层的反射率更高的反射率，并且在该吸光层上形成为光栅，其中该类金刚石碳层形成在该基底的所有表面上，其中该反光层形成在该吸光层的光入射侧，并且其中被该反光层暴露的该吸光层也形成为光栅。