测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括其的衬底加工装置

摘要

本发明公开了测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括该多功能装置的衬底处理装置，该多功能装置可通过在同一腔体执行测试和刻蚀操作而提高空间效率和制造效率。该多功能装置包括：在一侧具有入口、另一侧具有出口的腔体，衬底通过入口被输入腔体并通过出口从腔体输出；传送单元，设置于腔体内，被配置为在从入口到出口的方向传送输入的衬底；激光刻蚀单元，设置于传送单元上方，被配置为刻蚀设置于传送单元上的衬底的一部分；以及测试单元，配置为测试设置于传送单元上的衬底。

主权项

测试和刻蚀衬底的多功能装置，所述多功能装置包括：腔体，在一侧具有入口，另一侧具有出口，所述衬底通过所述入口被输入腔体并通过所述出口从腔体输出；传送单元，设置于所述腔体内，被配置为在从所述入口到所述出口的方向传送输入的衬底；激光刻蚀单元，设置于所述传送单元上方，被配置为刻蚀设置于所述传送单元上的所述衬底的一部分；以及测试单元，配置为测试设置于所述传送单元上的所述衬底。