一种双电源多晶硅铸锭工艺

摘要

本发明公开了一种双电源多晶硅铸锭工艺，包括装料填料、抽真空、熔化保温、长晶、退火和降温，其特征在于：所述熔化保温至退火过程中，采用双电源多晶硅铸锭炉，所述多晶硅铸锭炉的加热室顶部和侧面分别设有加热器，所述加热器分别电连接有变压器，其顶部热场变压器功率P1与侧面热场变压器功率P2根据自适应控制器调节。本发明通过对长晶过程中温度梯度的精确控制来提高长晶质量，从而使多晶硅铸锭加工生成的电池片的光电转换效率提高0.1%以上；通过对温度的精确控制和能源的合理分配，减少不必要的能源损耗，使耗电量降低10%。

主权项

一种双电源多晶硅铸锭工艺，其特征在于：包括装料填料、抽真空、熔化保温、长晶、退火和降温，其特征在于：所述熔化保温至退火过程中，采用双电源多晶硅铸锭炉，所述多晶硅铸锭炉的加热室顶部和侧面分别设有加热器，所述加热器分别电连接有变压器，其顶部热场变压器功率 P1 与侧面热场变压器功率 P2 的调节按照以下工艺进行 ：（1）熔化保温 ：先采用功率控制模式，通过自适应系统分配功率 P1 ：P2=1 ：1，使得石英坩埚内温度达到多晶硅料的熔化温度，然后采用温度控制模式，通过自适应系统分配功率P1 ：P2=1 ：2 ～ 3.5，控制熔化温度不变进行保温，直至多晶硅料完全熔化 ；（2）长晶 ：在长晶过程中，通过自适应系统分配功率 P1 ：P2=1 ：1 ～ 2.25 ；（3）退火 ：在退火过程中，通过自适应系统分配功率 P1 ：P2=1 ：1 ～ 2.5。