一种超声键合功率的识别方法

摘要

一种超声键合功率的识别方法，属于超声键合技术领域，首先选取超声功率的变化从10mW到40mW依次增加，间隔为1mW，一共安排了30组实验，每组实验对应一个功率点，每组实验分别测量10个样本，取其平均值。其它3个工艺参数固定为：键合时间：15ms，键合压力：0.5N，加载温度：200℃；接着建立超声功率评估公式：式中：p——超声功率评估值；n——数据长度；x_i，y_i——超声电压信号和电流信号，i＝1,2,···,n；λ_p——调整系数；λ_p的计算是根据实验来获取的，通过多组数据的计算，得到均值λ_p，将λ_p代入公式中，最后就可以得到计算超声功率的计算公式值了。

主权项

1.一种超声键合功率的识别方法，其特征在于：首先选取超声功率的变化从10mW到40mW依次增加，间隔为1mW，一共安排了30组实验，每组实验对应一个功率点，每组实验分别测量10个样本，取其平均值。其它3个工艺参数固定为：键合时间：15ms，键合压力：0.5N，加载温度：200℃；接着建立超声功率评估公式：$p=\frac{{\lambda }_p}{n}\underset{i=1}{\overset{n}{\Sigma }}{x}_i{y}_i$式中：p——超声功率评估值；n——数据长度；x_i，y_i——超声电压信号和电流信号，i=1,2,...,n；λ_p——调整系数；λ_p的计算是根据实验来获取的，通过多组数据的计算，得到均值λ_p，将λ_p代入公式（2）中，最后就可以得到计算超声功率的计算公式值了。