液晶阵列检查装置以及液晶阵列检查装置的拍摄图像获取方法

摘要

本发明消除基于移动台的移动分辨率产生的拍摄范围的累积误差，使液晶阵列检查中的缺陷检测的位置精度提高。本发明的液晶阵列检查装置对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对所述液晶基板照射电子束等带电粒子获得的二次电子等信号来拍摄液晶基板，基于通过拍摄获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列，且所述液晶阵列检查装置检测使液晶基板移动的移动部的移动变动，基于该移动变动而修正移动部的移动速度及各拍摄时的移动间隔，并修正累积误差，所述累积误差是基于伴随移动间隔的修正的移动分辨率产生的误差量累积而产生的。累积误差的修正是通过在多次的拍摄中每当规定的拍摄次数将移动间隔修正仅移动部的移动分辨率的量而进行。

主权项

一种液晶阵列检查装置，对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对所述液晶基板照射带电粒子而获得的信号来对液晶基板进行拍摄，基于通过所述拍摄而获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列；其特征在于包括：移动部，移动所述液晶基板；拍摄部，每当随着由所述移动部移动所述液晶基板而该液晶基板以规定的移动间隔移动时开始拍摄，并在各拍摄动作中重复将该移动间隔作为拍摄范围的拍摄动作而获取多个分割拍摄图像；拍摄图像形成部，将所述多个分割拍摄图像相连而形成一个结合拍摄图像；变动检测部，检测所述移动部的移动变动；以及拍摄修正部，基于由所述变动检测部检测出的所述移动部的移动变动而修正所述拍摄部获取拍摄图像时的拍摄条件；且所述拍摄修正部基于所述移动变动的变动幅度及变动方向而修正所述拍摄条件。