一种激光束自动移位控制装置及操作方法

摘要

一种激光束自动移位控制装置及其操作方法，装置包括支撑台，传动系统和透镜架；电机固定在支撑台上，电机的输出轴轴向与支撑台垂直，其下端焊接一“ㄈ”形连接片，该连接片下部平面与支撑台平行；平面上开有控制移位范围的限位槽，滑块通过滑块轴固定在限位槽上；滑块中开有通孔；滑杆穿过通孔，两者为滑动配合；滑杆的轴向平行于支撑台；轴套用螺栓固定在支撑台下方，轴套下部以轴承连接转轴；转轴中间部位与滑杆用紧定螺钉连接，转轴与滑杆非同轴；转轴下端与连杆相连接；定位销的销杆依次穿过透镜夹持器和限位块；定位销固定在连杆末端。该装置配合靶材的自转，可以保证聚焦激光束对靶材表面均匀扫描，实现薄膜的均匀沉积。

主权项

一种激光束自动移位控制装置，其特征在于，其包括支撑台(100)，传动系统(200)和透镜架(300)；支撑台(100)是一长方形面板，其上具有两个开孔，分别用于固定传动系统(200)的电机(2)和轴套(12)；传动系统(200)包括电机(2)、输出轴(5)、”ㄈ”形连接片(6)、滑块轴(8)、滑块(9)、滑杆(11)、轴套(12)、转轴(13)和连杆(15)；该电机(2)由螺栓(3)固定在支撑台(100)上，电机(2)下部的输出轴(5)和支撑台(100)以轴承相连接；输出轴(5)的轴向与支撑台(100)垂直，其下端焊接一“ㄈ”形连接片(6)，该连接片下部为平面，与支撑台(100)平行，该平面上开有控制移位范围的限位槽(7)；滑块(9)通过滑块轴(8)用螺帽(8)1固定在限位槽(7)上；滑块(9)中开有圆形贯通通孔(10)；滑杆(11)穿过通孔(10)，两者为滑动配合，该滑杆(11)的轴向平行于支撑台(100)；其另一端用锁紧螺钉(141)固定在转轴(13)上；该轴套(12)用螺栓固定在支撑台(100)下方，轴套(12)下部以轴承连接转轴(13)；转轴(13)中间部位与滑杆(11)用紧定螺钉(141)连接，转轴(13)与滑杆(11)非同轴；转轴(13)下端用紧定螺钉(142)和连杆(15)相连接；透镜架(300)由定位销(16)，透镜夹持器(17)和限位块(18)组成；定位销(16)的销杆依次穿过透镜夹持器(17)和限位块(18)；定位销(16)固定在连杆(15)末端。