| 发明名称 | 一种显影胶杯 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种显影胶杯，包括杯底、杯口以及连接杯底与杯口的侧壁，杯底的直径大于杯口的直径，所述侧壁为圆弧形侧壁，所述圆弧形侧壁向显影胶杯杯体的外部凸出。本实用新型提供的一种显影胶杯，可以减少废液反溅对晶圆品质的影响。 | ||
| 申请公布号 | CN203689005U | 申请公布日期 | 2014.07.02 |
| 申请号 | CN201420009097.8 | 申请日期 | 2014.01.07 |
| 申请人 | 西安神光安瑞光电科技有限公司 | 发明人 | 张亚鹏;罗建华;陈起伟;郭鹏 |
| 分类号 | G03F7/30(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人 | 倪金荣 |
| 主权项 | 一种显影胶杯，包括杯底、杯口以及连接杯底与杯口的侧壁，其特征在于：所述杯底的直径大于杯口的直径，所述侧壁为圆弧形侧壁，所述圆弧形侧壁向显影胶杯杯体的外部凸出。 | ||
| 地址 | 710100 陕西省西安市航天基地东长安街888号 | ||